640B和641B壓力控制器是獨(dú)立、緊湊的閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)。每個(gè)都包含一個(gè)電容式壓力計(jì)、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。640B控制絕對(duì)壓力；641控制表壓（相對(duì)于環(huán)境大氣壓的壓力）。兩種傳感器均為Baratron®電容式壓力計(jì)，滿標(biāo)度壓力范圍為100 psi至10 Torr。Baratron電容式壓力計(jì)——以其讀數(shù)精度、穩(wěn)定性和分辨率的百分比而聞名——在較低的壓力和較寬的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)提供比應(yīng)變更精確的測量 儀表傳感器。此外，Baratron電容壓力計(jì)沒有硅油填充，這會(huì)導(dǎo)致滯后，并會(huì)減慢控制器的時(shí)間響應(yīng)。 與標(biāo)準(zhǔn)MFC在電氣上類似，640B/641B僅在200 mA時(shí)由±15 VDC供電，允許與標(biāo)準(zhǔn)電源/顯示電子設(shè)備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號(hào)為線性0-5或0-10 VDC。640/641中包含兩個(gè)觸發(fā)點(diǎn)，帶有LED狀態(tài)指示燈，用作簡單的開/關(guān)流程限制。 在MKS的最終測試期間，640/641控制回路調(diào)諧參數(shù)是針對(duì)典型安裝條件預(yù)設(shè)的，但可針對(duì)不同條件和最佳性能進(jìn)行現(xiàn)場調(diào)整。比例和積分項(xiàng)調(diào)整是簡單的旋轉(zhuǎn)開關(guān)，而不是電位計(jì)，以使OEM或具有多個(gè)控制器的用戶能夠?qū)⑺醒b置預(yù)設(shè)為相同的控制回路參數(shù)。